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    數字化先驅 半導體超純水系統助力推動行業發展

    來源:作者:時間:2021-08-11

      半導體行業自問世以來一直是數字化的先驅,提供數字化服務并追求新的數字商業模式,人工智能應用的快速發展帶來極大的芯片需求,促進了半導體行業的強勢增長。數據顯示,2018年全球半導體制造設備銷售總額達645億美元,比2017年增長14%。中國大陸以年增長59%達到131.1億美元的成績,成為全球第二大半導體新設備市場,2018年中國半導體市場規模超過18000億美元,2019年預計將達到2萬億,預計增長 12.1%。(數據來源:英格索蘭ARO流體管理)


     

     

      在半導體制程中,制作集成電路的尺寸越來越小,晶圓上的組件也隨之縮小,使得各種有機物、粒子的接觸污染及各機臺導致的金屬雜質等污染物大于或相當于組件尺寸的現象更嚴重,若在半導體制程中有污染物殘留在晶圓表面上,將造成組件短路或缺陷,導致集成電路無法使用,因此,半導體制程中不允許晶圓表面上殘留有污染物。

      超純水(UPW)是指電阻率達到18 MΩ·cm(25℃)的水,可分為國標《電子級水》和美標《電子和半導體超純水質標準》。萊特萊德采用反滲透技術,將水中的大部分離子、病毒及細菌完全去除后制成超凈水,以解決超純水清洗芯片寸在的問題,更好的提升芯片的良品率。其技術優勢如下:

      1、降低能耗,減少化學藥品的使用量,綜合成本低。

      2、各個自動運行程序的工藝參數、控制參數可以在線設定。

      3、自動報警系統可分析各類故障并發出警報,顯示故障點和故障狀態。

      4、整體設備運行穩定、自動化程度高、無需人工操作。

      萊特萊德半導體超純水系統采用定制化工藝包,搭配成熟的模塊設計,達到1+1>2的結果呈現,為半導體行業提供更優品質的超純水。

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